真空裝置自動(dòng)控制常用名詞匯術(shù)語

要求實(shí)現(xiàn)控制的真空裝置或生產(chǎn)過程，稱之為被控制對(duì)象。例如真空閥、
2、測(cè)量裝置
3、調(diào)節(jié)裝置(調(diào)節(jié)器)
4、執(zhí)行機(jī)構(gòu)
差。如真空室中調(diào)節(jié)真空度的調(diào)節(jié)閥及調(diào)節(jié)加熱溫度的調(diào)功器均屬此類機(jī)構(gòu)。
系指被控制對(duì)象內(nèi)要求實(shí)現(xiàn)控制的參數(shù)。例如:壓力、溫度、流量、膜厚等。
測(cè)量裝置所測(cè)得的被控制量的實(shí)際值。
被控制量要求保持恒定或按預(yù)定規(guī)律變化的規(guī)定值。
測(cè)量值與給定值之差。
它是使被控制量產(chǎn)生變化的因素。擾動(dòng)分兩種:一種為控制系統(tǒng)內(nèi)各個(gè)環(huán)節(jié)產(chǎn)生的擾動(dòng)，稱為內(nèi)擾;另一種為控制系統(tǒng)以外對(duì)系統(tǒng)產(chǎn)生的干擾，稱為外擾。
把輸出信號(hào)送回到輸人端，以增強(qiáng)或減弱輸人信號(hào)的效應(yīng)稱為反饋。凡使輸人信號(hào)增強(qiáng)者稱為正反饋;反之，則稱為負(fù)反饋。在自動(dòng)控制系統(tǒng)中多采用負(fù)反饋。
12、位式調(diào)節(jié)
13、比例調(diào)節(jié)
14、比例積分調(diào)節(jié)
15、比例積分微分調(diào)節(jié)
16、比例放大倍數(shù)Kp增大Kp，可使靜態(tài)偏差變小，但系統(tǒng)的穩(wěn)定性變差;反之，則可提高系統(tǒng)的穩(wěn)定性，但是，靜態(tài)偏差變大。通常用調(diào)節(jié)器的比例放大倍數(shù)Kp的倒數(shù)8表示，稱為比例度。
18、微分時(shí)間Td
19、穩(wěn)定性
擾動(dòng)消除后，系統(tǒng)能恢復(fù)原來的平衡狀態(tài)的則是穩(wěn)定的。
系指系統(tǒng)處于平衡狀態(tài)時(shí)，被控制量與給定值的偏差(即靜態(tài)偏差)。
系指系統(tǒng)在隨時(shí)間變化的給定信號(hào)作用下所具有的精度。在定值系統(tǒng)中，動(dòng)態(tài)精度就是過渡過程最大動(dòng)態(tài)偏差。
自動(dòng)控制裝置和被控制對(duì)象組成自動(dòng)控制系統(tǒng)，它能夠使被控制對(duì)象按預(yù)定的規(guī)律動(dòng)作，自動(dòng)完成真空工藝過程。如鍍膜機(jī)微機(jī)控制系統(tǒng)等。